Litografija ionskim snopom

Varašanec, Marijana (2010) Litografija ionskim snopom. Diploma thesis, Faculty of Science > Department of Physics.

[img] PDF
Restricted to Registered users only
Language: Croatian

Download (7MB)

Abstract

Svrha rada je pokazati moguće prednosti litografije. u tu svrhu razvijena je metoda litografske izrade 3D mikrostruktura u organskom materijalu PMMA (polimetil-metakrilat) pomoću snopa protona energije 600 keV-a i snopa ugljikovih iona energije 8 MeV-a. Energije protona i C iona su izabrane tako da oba snopa imaju isti doseg u materijalu. Izrada litografskih struktura zahtijevala je iscrpno istraživanje metoda i procesa vezanih uz litografiju ionskim snopovima. Budući se ovom prilikom prvi put na institutu Ruđer Bošković (IRB), a i Hrvatskoj, radila litografija ionskim snopom, višestruki pokušaji i pogreške bili su potrebni prije nego su postignuti zadovoljavajući rezultati. Nakon što su ponađeni optimalni uvijeti ozračavanja i jetkanja ozračenog materijala i protonima i C ionima, izrađeni su razni 3D oblici mikrobazena dubine oko 10 μm. Geometrija i kvaliteta oblika mikrobazena i vertikalnih zidova ispitivana je pomoću optičkog i elektronskog mikroskopa (SEM). Pomoću mikroskopa atomskih sila (AFM) ispitana je hrapavost površina litografskih struktura na nanometarskoj skali dimenzija.

Item Type: Thesis (Diploma thesis)
Keywords: litografija
Supervisor: Jakšić, Milko
Date: 4 February 2010
Number of Pages: 56
Subjects: NATURAL SCIENCES > Physics
Divisions: Faculty of Science > Department of Physics
Depositing User: Gordana Stubičan Ladešić
Date Deposited: 23 Apr 2014 15:51
Last Modified: 23 Apr 2014 15:51
URI: http://digre.pmf.unizg.hr/id/eprint/926

Actions (login required)

View Item View Item

Nema podataka za dohvacanje citata